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德国英福康INFICON Transpector MPH/MPS质谱仪，是一款残余气体分析仪，用于一般真空应用。
德国英福康INFICON Transpector MPH/MPS质谱仪产品简介：
INFICON, RGA为您提供标准的和高性能的残余气体分析仪来满足您真空应用的需要. Transpector MPS 和Transpector MPH 均具有工业的数据收集速率, *小的可检分压(MDPP) 和讯噪比. 加上低的总体拥有成本和高的平均无故障时间(MTBFs), Transpector MPS 和 Transpector MPH 帮助您的收益底线远超过市场上其它RGA系列产品.
1、TRANSPECTOR MPS–气体分析的标准
Transpector MPS 设计用于要求具有验证的 Transpector 品牌的高耐用性能,一般真空应用中的 RGA 分析. 质量范围100 或200 amu 的 Transpector MPS 提供标准的监测性能. RGA 的标准装备是法拉第杯检测器,当需要监测低浓度气体时, 可选用电子倍增器检测器.
2、TRANSPECTOR MPH–高性能用于高要求的应用
Transpector MPH 设计用于要求 RGA 具有*高监测性能的应用中. Transpector MPH 可提供 100, 200 和 300 amu 三种不同的质量范围, 具有工业上*低的 MDPP. TranspectorMPH 可装备法拉第杯或电子倍增器检测器, 以及提供可选的校准气体, 用于简易和RGA 质量标度自动调谐的校准参考.
3、传感器设计用于工业的MBTF和低的总体拥有成本
综合地采纳客户的反馈和深入的市场分析, INFICON 革新了Transpector MPS 和 Transpector MPH 的离子源. 新型离子源在阳及, 阴及和反射及的组装件中包含两根灯丝. 带有备用灯丝的双灯丝结构可延长 RGA 的运行周期和避免出现意外的系统停机故障. Transpector MPH 还提供特定应用的灯丝选择(钨灯丝用于含卤素的过程中或涂敷氧化钇的铱灯丝用于含氧的过程中) 确保过程本身不会影响灯丝的使用寿命.
在一般真空应用中 Transpector MPS 装备涂敷氧化钇的铱灯丝.在Transpector MPH 或 Transpector MPS 中, 更换灯丝组件等同于传统 RGAs 中更换整个离子源. 成本的节约将大大地降低这两种 RGAs 的总体拥有成本.
新型传感器结构提供更多的优越性, 可现场更换电子倍增器 (如装备). 您可在定期的维护周期中快速地现场更换 EM. 新型倍增器已发展为具有更长使用寿命, 提供更高的法拉第杯(FC) 灵敏度和更强的增益.
4、可定标的通讯方法用于现代化的制造*心
Transpector MPS 和 MPH 采用以太网作为 RGA 与计算机之间默认的通讯手段. 对于单传感器运行, 可将传感器连接至现有的网络或直接连接任何计算机上的以太网端口. 采用现有的网络或用可选的路由器或以太网开关, 可实行多传感器运行.
5、满足您需要的软件
Transpector MPH 与得奖的 FabGuard 程序套件是完全兼容的, 包括与 FabGuard 工艺集成监测软件和FabGuard Explorer 检测软件.
为易于运行, Transpector MPS 设计于使用FabGuard Explorer 软件. 两种 RGAs 均配备机载的网页服务器,它允许从连接网络的任何设备, 无软件运行您的 Transpector MPS 或 MPH. 这个网页服务器不仅是可查阅标准数据的单个程序. 而是允许用于您预期的全部手动数据查阅技术, 包含检漏和传感器调谐等标准维护功能的网页服务器.
德国英福康INFICON Transpector MPH/MPS质谱仪产品特点：
超快的数据收集
校准参考
TCP/IP 以太网连接性
双灯丝
可现场更换电子倍增器
组合的阳及,阴及和反射及, 灯丝套件
可更换的传感器和电子学
RoHS符合性
德国英福康INFICON Transpector MPH/MPS质谱仪应用领域：
1、真空炉
真空炉有不同的形状和大小. 不管它们的用途如何, 均易于污染和出现漏泄. INFICON Transpector MPS 和 MPH 设计于防护这些不可避免的问题. 为确定是否存在空气漏泄,可采用Transpector MPS 或 MPH RGA 扫描, 检测系统中的气体状态搜索是否存在 (氮和氧的比例为 4:1)的空气, 使用内置的检漏检查功能可将 RGA 转变成为一台就地氦检漏仪. 可编程 FabGuard 传感器控制器, 当出现空气漏孔时, 即发出报警.
使用 Transpector MPH 检测空气漏孔的出现, 并通过报警, 触发讯号(数字输出或继电器)或发出电子邮件自动通知用户.Transpector MPS 或 MPH 还可显示来自泵的返流或不清洁部件的污染.
2、真空镀膜
不管 PVD 过程的类型(EB-PVD, IB-PVD, 标准 PVD),与其它监测方法不同的是, INFICON TranspectorMPS 和 MPH 将为您提供系统的监测情况. 无论是监测过程室中的空气漏孔还是气体管道中的污染,Transpector MPS 和 MPH 均可提供手动或自动化的检测结果
当需要查明为什么您的过程室未能抽空至它的本底真空值时,采用 FabGuard 中的内置真空诊断,Transpector MPS 或 MPH 将自动鉴别存在于系统中的气体种类.
3、热处理
任何低压强热处理应用均可得益于 Transpector MPS 或 MPH 的使用. 如担心是否存在一种特殊的气体将与金属产生相互作用时,Transpector MPS 或 MPH 可监测它的质量数, 并显示其存在和相对的量值. Transpector MPS 或 MPH 还可用于在本底压强下的实时检漏监测或手动检漏检查.
德国英福康INFICON Transpector MPH/MPS质谱仪技术参数：
MPS100F | MPS100M | MPS200F | MPS200M | MPH100F | MPH100M | MPH200F | MPH200M | MPH300F | MPH300M | |
传感器长度(真空侧) | 14.3厘米(5.63 吋)
| 19.3厘米(7.83 吋) | 14.3厘米(5.63 吋) | 19.3厘米(7.83 吋)
| 14.3厘米(5.63 吋)
| 19.3厘米(7.83 吋)
| 14.3厘米(5.63 吋) | 19.3厘米(7.83 吋)
| 14.3厘米(5.63 吋) | 19.3厘米(7.83 吋)
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质量范围 | 1至100amu
| 1至200amu
| 1至100amu
| 1至200amu
| 1至300amu
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检测器类型 | FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
| FC
| EM/FC
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灯丝类型 | 双 Y2O3/Ir 灯丝
| 双Y2O3/Ir(一般应用)或钨(用于卤素环境的应用)灯丝
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分辨率(按1993 AVS的方法) | <1amu 宽度 @ 10% 峰高处,包括整个质量范围
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温度系数(在8小时周期内, 半小时升温后) | <1%峰高/°C(仅 FC)
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灵敏度–安/乇 FC | 3x10-4(2.3x10-4 )
| 6x10-4(4.5x10-4)
| 5x10-4(3.8x10-4)
| 4x10-4(3x10-4) | ||||||
*大数据率(模拟扫描或选定的峰) | 3毫秒/点
| 1.8毫秒/点
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零冲击波干扰在 M2 处 | <100ppm
| <5ppm
| <65ppm
| <100ppm
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总压强测量范围,乇 (毫巴) ** | 2x10-7 –5x10-4 (2.7x10-7 –6.7x10-4 )
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*大工作压强– 乇 (毫巴) | 5x10-4 (6.7x10-4 )
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*大烘烤温度(电子学卸除) | 300°C
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*大传感器FC 工作温度EM | 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
| 200°C N/A
| 200°C 150°C
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电源输入 | 20-30 伏(直流),30 瓦*大–典型值 24 伏(直流)1.25 安*大
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以太网通讯接口 | 标准: CAT5e 以太网电缆连接
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可选校准参考 | 无
| 氩用于EM校准或测试混合物用于调谐
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继电器输出 | 一个继电器, 24 伏在 0.5 毫安
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输入 | 一个模拟输入, 两个数字输入 | |||||||||
LED 指示灯 (绿色) | 一个用于指示电源状态, 一个用于指示发射状态 | |||||||||
*用一个基线噪声的标准偏差除以氮的灵敏度计算的.
**与分压强测量无关,用于连续的灯丝保护和分析.
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服务时间: 9:00-18:00
