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美国ALICAT  MCS/MCRS 耐腐蚀质量流量控制器参数: 

0 – 0.5 sccm 满量程到 0 – 3000 slpm 满量程 

艾里卡特®MCS & MCRS 系列专用于某些腐蚀性气体

产品性能: MCS & MCRS 系列质量流量控制器 

精度(调零后标准条件下): ± (0.8%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度选配(调零后标准条件下): ±(0.4%Rdg + 0.2%F.S) 

高精度(选配)仅适用于量程为: 5SCCM ~ 500SLPM 的设备

重复性: ±0.2% F.S 

零点漂移&满量程漂移: 0.02% F.S / ºC / Atm 

工作范围 / 量程可调比: 1% ～ 100 F.S / 100:1 

很大可控流量: 102.4% F.S 

典型响应时间: 100 毫秒(可调整) 

启动预热时间: < 1 秒

运行工况: MCS & MCRS 系列质量流量控制器 

标准工况: (STP) 25ºC & 14.696 psia、20ºC & 14.696 psia、0ºC & 14.696 psia (三种工况供切换) 

工作温度: −10 ~ +50 ºC 

工作湿度范围 (非冷凝): 0 ~ 100 

内部很大工作压力(静压): 145 psig 

很限压力: 175 psig 

对安装方式/方向的要求: MCS: 无 MCRS: 阀门须垂直安装 

阀门状态: 阀门常闭 

防护等级： IP40 

材质 ：标准采用 316LSS, 303SS, 430FRSS, FFKM (Kalrez), 可根据特殊气体选用 Viton, EPDM, Buna, Neoprene；

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