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DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机配有真空腔，射频电源，真空泵，控制系统，流量控制系统。
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机产品简介：
设备简介：
1、真空腔
采用进口材料制作而成，焊接无漏气，*优化 8 层电极设计合理利用空间，专业等离子发生方式，绝缘可靠良好。
2、射频电源
安全可靠的射频电源(13.56MHz)，为等离子的产生提供保障。
3、真空泵
快速静音抽真空系统设计，真空度可至 10pa 以内，保证设备使用的各个需求压力。
4、控制系统
PLC+触摸屏自动控制系统设计，方便客户使用和操作。
5、流量控制系统
专业闭环流量控制系统，保证工艺气体的准确，确保等离子的效果的稳定。
装机前准备：
1、压缩空气：≥0.5mpa，ø6mm PU 管
2、工艺气体：AR&O2(纯度：≥99.999%)0.15～0.25mpa，ø6mm PU 管
3、废气排放：ø50mm 接口
4、主电源：≥ 4mm2 电源线(三相五线)，5.7KW Main
设备工作流程：
1、真空抽取：将产品放置腔体内，关上腔体门，打开真空泵，将真空腔内气压从常压抽至 30pa(自行设置)以内;
2、添加工艺气体：将准确流量的工艺气体添加至真空腔室内，均匀分布;
3、产生等离子：射频电源提供能量电离真空腔内的工艺气体，形成等离子体;
4、产品处理：根据设置时间处理产品的等离子处理时间;
5、破真空：产品处理完成后，打开破真空电磁阀，将真空腔压力恢复至常压取出产品。
DSX-VPD-8L-S/DSX-VPO-8L-S真空等离子清洗机技术参数：
名称（Name） | Vacuum Plasma system真空等离子清洗机 | |||
型号（Model） | DSX- VPD-8L-S | |||
技术参数(Technical Parameter) | 备注(Remarks) | |||
1 | 控制系统 (Control system) | PLC+HMI | Mitsubishi | |
2 | 真空泵 Vacuum Pump | 旋片式真空泵 Rotary vacuum pump | TVP | |
3 | 等离子发生系统 Plasma generator | 射频电源 0-1000w+全网络自动匹配器 RF Power 13.56MZH 1000W + Matching network | KVMEN | |
4 | 真空监控系统Vacuum Guage | 皮拉尼电阻式真空计 Pirani resistance vacuum gauge | Ulvac | |
5 | 气体流量控制系统Mass Flow Control | 质量流量控制器 MFC control system | ETON | |
6 | 气体控制系统 Gas control system | 二通电磁阀控制 2 Channel solenoid valve control | SMC | |
7 | 抽真空控制系统Vacuum output control | 高真空气动挡板阀 GDW-KF40 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve GDW-KF40 | ISO standard | |
8 | 破真空控制系统Vacuum breaking control | 高真空气动挡板阀 GDW-KF16 Hi-level vacuum pneumatic flapper valve | ISO standard | |
9 | 电极层数 Electrode Layer | 水平电极板 8 层(层数可选) 8 Layers of horizontal electrode plate（Option） | AL6061-L | |
10 | 有效处理面积 Effective treatment area | 300mm（D）*400mm（W） | Option | |
11 | 工艺气体通道 Process gas channel | 两路工作气体可选择：AR O2 N2 H2 CF4 等 2 channels process gases option: AR O2 | Option | |
12 | 腔体规格 Chamber Size | 450mm(W)*450mm(D)*400mm(H) | AL-6061-L | |
13 | 整机外形尺寸 Layout Size | 995mm（W）*1085mm（D）*1750mm（H） | ||
名称（Name） | Vacuum Plasma system | |||
型号（Model） | DSX-VPO-8L-S | |||
技术参数(Technical parameters) | 备注Remarks | |||
1 | 设备电源Power supply | 3P : 380VAC 50/60Hz | ||
2 | 设备功率Power KW | 5.7KW | ||
3 | 工作真空度 Working vacuum point | 10-100Pa | ||
4 | 抽真空时间 Vacuum output time | ≤100s | ||
5 | 破真空时间 Vacuum breaking time | ≤30s | ||
6 | 射频电源功率 RF Power KW | 0-1000W | ||
7 | 机台重量Weight | ≤500KG | ||
8 | 质量流量控制系统 MFC Range | 0-200sccm | ||
9 | 操作方式 Mode of operation | 全自动运行系统，一键启动 Fully auto operation system, One-key starting | ||
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