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日本新宇宙XPS-7毒气检测仪可以检测半导体材料气体，由于自身的特点可以大幅度的削减成本和维护时间，其操作简单，使用方便。
日本新宇宙XPS-7毒气检测仪特点：
只需更换传感器单元就可以检测各种对象气体
用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
可以大幅度削减成本和维护时间
无报警时（气体浓度显示5ppm以下）、20℃时
日本新宇宙XPS-7毒气检测仪规格：
型 号 | XPS-7 |
检测原理 | 定电位电解式 |
检测气体对象 | 半导体材料气体 |
测量范围 | 根据规格 |
分 解 能 | 全量程的百分之一表示 |
指示精度 | FS±10%以内 |
报警模式 | 2段报警方式 |
报警方式 | 蜂鸣器(断续音)、报警灯闪烁 |
应答时间 | 60秒以内(60%应答) |
电 源 | 5号碱性干电池4节或AC专用变压器 |
电池使用时间 | 连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时） |
外型尺寸 | W62×H150×D128mm(突出部分除外) |
检测方式 | 泵吸引式 |
使用温度范围 | 0℃～40℃ |
重 量 | 约1.3kg |
附 件 | 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张 |
选 购 件 | AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件 |
检测气体一览表：
| 对象气体一览表 | ||||||||
型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
XDS-7NH | NH3 | 100ppm | XDS-7GH | GeH4 | 1ppm | XDS-7HS | H2S | 50ppm |
XDS-7SH | SiH4 | 25ppm | XDS-7CL | CL2 | 5ppm | XDS-7CO | CO | 250ppm |
XDS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XDS-7CF | CLF3 | 1ppm | XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XDS-7AH | AsH3 | 250ppb | XDS-7HC | HCL | 25ppm | XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
XDS-7PH | PH3 | 1ppm | XDS-7HF | HF | 10ppm | XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
XDS-7BH | B2H6 | 500ppb | XDS-7HB | HBr | 10ppm | |||
XDS-7SE | H2Se | 250ppb | XDS-7NO | NO | 100ppm | |||
中科汇仪
